金融界3月12日消息,有投资者在互动平台向中石科技(300684)提问:ASML光刻机的光源系统(如EUV激光等离子发生器)需在极端温度下保持稳定性,公司的高导热相变材料(如导热凝胶)或电磁屏蔽涂料是否已通过国内光刻机厂商(如上海微电子)的测试?若未参与,是否因材料纯度(如金属离子杂质含量)未达到半导体设备级标准?
公司回答表示:公司的高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域。
金融界3月12日消息,有投资者在互动平台向中石科技(300684)提问:ASML光刻机的光源系统(如EUV激光等离子发生器)需在极端温度下保持稳定性,公司的高导热相变材料(如导热凝胶)或电磁屏蔽涂料是否已通过国内光刻机厂商(如上海微电子)的测试?若未参与,是否因材料纯度(如金属离子杂质含量)未达到半导体设备级标准?
公司回答表示:公司的高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域。
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