以下是一些光刻机相关的上市公司：

1. ASML Holding NV（荷兰ASML控股有限公司）

2. Canon Inc.（佳能株式会社）

3. Nikon Corporation（尼康株式会社）

4. Ultratech Inc.（UltaTech有限公司）

5. SÜss MicroTec SE（德国苏斯微技术有限公司）

6. EV Group（EV集团）

7. Orbotech Ltd.（Optrotech有限公司）

8. Rudolph Technologies, Inc.（鲁道夫技术有限公司）

9. NuFlare Technology Inc.（NuFlare技术株式会社）

10. Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd.（上海新孚科技有限公司）

请注意，这只是部分光刻机相关的上市公司列表，并不详尽完整。还有其他一些上市公司也在光刻机领域从事相关业务。