中石科技：高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域

来源：金融界 63305/28

金融界3月12日消息，有投资者在互动平台向中石科技（300684）提问：ASML光刻机的光源系统(如EUV激光等离子发生器)需在极端温度下保持稳定性，公司的高导热相变材料(如导热凝胶)或电磁屏蔽涂料是否已通过国内光刻机厂商(如上海微电子)的

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