日本宣布开发出新技术，可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本

作者：财中快讯 59608/13

日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。以EUV光源为中心，整体耗电量可减至原来的约十分之一。设备的结构也可大

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